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光學(xué)原子力顯微鏡一體機(jī)
◆ 光學(xué)顯微鏡和原子力顯微鏡一體式設(shè)計(jì),，光電控制一體化；
◆ 同時(shí)具備光學(xué)和原子力顯微鏡成像功能,，兩者可同時(shí)掃描成像,，互不影響；
◆ 同時(shí)具備光學(xué)二維測(cè)量和原子力顯微鏡三維測(cè)量功能,；
◆ 采用了垂直光路設(shè)計(jì),，配合氣液兩用型探針架可同時(shí)在空氣或液體中使用；
◆ 利用了高倍光學(xué)定位系統(tǒng),，實(shí)現(xiàn)探針和樣品掃描區(qū)域精確定位,；
◆ 簡(jiǎn)易的激光光斑調(diào)節(jié)方式，可通過光學(xué)CCD窗口實(shí)時(shí)觀測(cè)及調(diào)節(jié)光斑,；
◆ 單軸驅(qū)動(dòng)樣品自動(dòng)垂直接近探針,，準(zhǔn)確定位掃描區(qū)域，使針尖垂直于樣品掃描,；
◆ 馬達(dá)控制加壓電陶瓷自動(dòng)探測(cè)的智能進(jìn)針方式,，保護(hù)探針及樣品；
◆ 配備氣動(dòng)式減震臺(tái),，抗干擾能力強(qiáng)，不影響儀器使用操作,；
◆ 集成掃描器硬件非線性校正用戶編輯器,，納米表征和測(cè)量精度優(yōu)于98%。
光學(xué)原子力顯微鏡一體機(jī)技術(shù)參數(shù)
◆ 原子力工作模式：接觸,、輕敲,、F-Z力曲線測(cè)量、RMS-Z曲線測(cè)量,、摩擦力/側(cè)向力,、振幅/相位、磁力和靜電力,，可選配液體模式
◆ 原子力掃描范圍：XY向20um,，Z向2um(可選配XY向50um，Z向5um)
◆ 樣品尺寸：Φ≤90mm，H≤20mm
◆ 掃描分辨率：XY向0.2nm,，Z向0.05nm
◆ 樣品移動(dòng)范圍：0~20mm
◆ 光學(xué)物鏡：5X,，10X，20X,，50X平場(chǎng)復(fù)消色差
◆ 光學(xué)目鏡：10X
◆ CCD傳感器：300萬像素
◆ 顯示屏：11.6寸平板顯示器,，帶測(cè)量功能
◆ 光學(xué)調(diào)焦方式：電動(dòng)調(diào)焦
◆ 掃描速率0.6Hz~4.34Hz，掃描角度0~360°
◆ 掃描控制：XY采用18-bit D/A,，Z采用16-bit D/A
◆ 數(shù)據(jù)采樣：14-bit A/D,、雙16-bit A/D多路同步采樣
◆ 反饋方式：DSP數(shù)字反饋
◆ 反饋采樣速率：64.0KHz
◆ 通信接口：USB2.0/3.0
◆ 運(yùn)行環(huán)境：WindowsXP/7/8/10操作系統(tǒng)
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